超纯水在微电子制造业中起着关重要的作用。以下是一些主要的应用：
1. 清洗剂：在半导体的生产过程中，需要使用超纯水进行各种清洗，去除硅片上的尘埃、有机物和离子杂，保证产品的高质量。
2. 制程介质：超纯水也被用作制程介质，湿氧化、腐蚀、电镀等过程中，都需要使用超纯水。
3. 溶剂：在光刻程中，超纯水被用作光刻胶的溶剂，可以保证光刻胶的均匀性和稳定。
4. 冷却剂：在设备运行过程中，超纯水还可以作为冷却剂，用于散热
由于超纯水的纯度极高，不含任何离子、有机物和微生物，因此能够保证微电子制造过程的高精度和高稳定性，提高产品的性能和良品率。此外，超纯水设备自身也具有自动化程度高、能耗低、运行稳定等优点，因此在微电子制造业中得到了广泛的应用。
